標準編號:	DB31/ 506-2020
中文名稱:	集成電路晶圓制造單位產品能源消耗限額
英文名稱:	The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
中標分類:	F01    技術管理
行業分類:	DB    地方標準
ICS分類:	27.010 27.010    能源和熱傳導工程綜合 27.010
發布機構:	上海市市場監督管理局
發布日期:	2020-09-25
標準狀態:	valid
替代舊標準:	DB31/ 506-2010 集成電路晶圓制造能耗限額（法規規范）
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	11000 字
翻譯價格(元):	770.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本文件規定了集成電路晶圓制造過程的單位產品能源消耗（以下簡稱能耗)限額的技術要求、統計范圍、計算方法、節能管理與措施。
本文件適用于集成電路晶圓制造企業單位產品能耗的計算與考核，以及對新建及改擴建項目的能耗控制。
本文件不適用于12英寸40 nm及以下工藝制程的集成電路制造企業