標準編號:	GB/T 13387-2009
中文名稱:	硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法
英文名稱:	Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
中標分類:	H80    半金屬與半導體材料綜合
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	29.045 29.045    半導體材料 29.045
發布機構:	中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國家標準化管理委員會
發布日期:	2009-10-30
實施日期:	2010-6-1
標準狀態:	valid
替代舊標準:	GB/T 13387-1992 電子材料晶片參考面長度測量方法
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	10000 字
翻譯價格(元):	600.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準用于標稱圓形晶片邊緣平直部分長度小于等于65mm 的電學材料。本標準僅對硅片精度進行確認,預期精度不因材料而改變。
本標準適用于仲裁測量,當規定的限度要求高于用尺子和肉眼檢測能夠獲得的精度時,本標準也可用于常規驗收測量。