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GB/T 13388-2009   硅片參考面結晶學取向X射線測試方法 (英文版)
標準編號: GB/T 13388-2009 標準狀態:valid 訂閱狀態變動提醒
譯文語言:英文 文件格式:PDF
中文字符數: 10000 字 翻譯價格(元):600.0 訂閱價格變動提醒
實施日期:2010-6-1 交付時間: 付款后 1~3 個工作日
標準編號: GB/T 13388-2009
中文名稱: 硅片參考面結晶學取向X射線測試方法
英文名稱: Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
中標分類: H80    半金屬與半導體材料綜合
行業分類: GB    國家標準
ICS分類: 29.045 29.045    半導體材料 29.045
發布機構: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期: 2009-10-30
實施日期: 2010-6-1
標準狀態: valid
替代舊標準:GB/T 13388-1992 硅片參考面結晶學取向X射線測量方法
翻譯語言: 英文
文件格式: PDF
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