標準編號:	GB/T 18193-2000
中文名稱:	真空技術 質譜檢漏儀校準
英文名稱:	Vacuum technology - Mass-spectrometer-type leak detector calibration
中標分類:	J78    真空技術與設備
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	23.160 23.160    真空技術 23.160
發布機構:	中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局
發布日期:	2000-9-26
實施日期:	2001-2-1
標準狀態:	valid
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	14000 字
翻譯價格(元):	1280.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了質譜檢漏儀的校準程序。它僅適用于校準將靈敏件處于高真空系統中的檢漏儀。因此這個方法沒有制訂完整的驗收試驗。本標準規定探索氣體使用氦-4。但在適當的預防措施下，可以使用其他探索氣體，如氬-40。本標準的應用受到檢漏儀不能測定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本標準程序提出了測定最小可檢漏率和最小可檢濃度比的兩個要點。它分別應用于高真空和壓力大于一個大氣壓的檢漏儀上。