標準編號:	GB/T 29190-2012
中文名稱:	掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法
英文名稱:	Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
中標分類:	A60    光學計量
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	17.180.99 17.180.99    有關光學和光學測量的其他標準 17.180.99
發布機構:	中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期:	2012-12-31
實施日期:	2013-6-1
標準狀態:	valid
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	18000 字
翻譯價格(元):	1080.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了SPM 漂移速率的術語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數規格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測量基本方法。
本標準適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測量。本標準中的漂移測量不適用于圖像校正。