標準編號:	GB/T 34177-2017
中文名稱:	光刻用石英玻璃晶圓
英文名稱:	Quartz glass wafer for lithography
中標分類:	Q35    石英玻璃
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	81.040.30 81.040.30    玻璃產品 81.040.30
發布機構:	中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期:	2017-09-07
實施日期:	2018-8-1
標準狀態:	valid
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	15000 字
翻譯價格(元):	900.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了光刻用石英玻璃晶圓（以下簡稱石英玻璃晶圓)的術語和定義、分類、要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統（MEMS)、光電器件和發光二極管（LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。