標準編號:	GB/T 40577-2021
中文名稱:	集成電路制造設備術語
英文名稱:	Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment
中標分類:	L95    電子工業生產設備綜合
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	31.220 31.220    電子電信設備用機電零部件 31.220
發布機構:	國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
發布日期:	2021-10-11
實施日期:	2022-5-1
標準狀態:	valid
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	50000 字
翻譯價格(元):	3500.0
交付時間:	付款后 1~5 個工作日

本文件規定了集成電路（IC)制造設備的基本和常用術語，包括基礎術語，晶體生長加工設備、掩模制造設備、光刻與刻蝕設備、摻雜設備、薄膜淀積設備、清洗設備、封裝設備、檢測設備的術語及公用部件術語。
本文件適用于集成電路制造設備的設計開發、生產和應用，也適用于集成電路制造設備的科研、教學和出版工作。