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GB/T 4058-1995   硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法 (英文版)
標準編號: GB/T 4058-1995 標準狀態:superseded 訂閱狀態變動提醒
譯文語言:英文 文件格式:PDF
中文字符數: 10000 字 翻譯價格(元):1360.0 訂閱價格變動提醒
實施日期:1995-1-2 交付時間: 付款后 1~3 個工作日
標準編號: GB/T 4058-1995
中文名稱: 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法
英文名稱: Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
中標分類: H26    金屬無損檢驗方法
行業分類: GB    國家標準
ICS分類: 77.040.30 77.040.30    金屬材料化學分析 77.040.30
發布機構: 國家技術監督局
發布日期: 1995-04-18
實施日期: 1995-1-2
標準狀態: superseded
被新標準替代:GB/T 4058-2009 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法
被替代日期:2010-6-1
作廢日期:2010-06-01
替代舊標準:GB 4058-1983 硅單晶微缺陷的熱氧化腐蝕檢驗方法
GB 6622-1986 硅化學拋光片漩渦缺陷和條紋的測試方法
GB 6623-1986 硅拋光片表面熱氧化層錯的測試方法
翻譯語言: 英文
文件格式: PDF
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