標準編號:	GB/T 4061-2009
中文名稱:	硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法
英文名稱:	Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
中標分類:	H80    半金屬與半導體材料綜合
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	29.045 29.045    半導體材料 29.045
發布機構:	中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國家標準化管理委員會
發布日期:	2009-10-30
實施日期:	2010-6-1
標準狀態:	valid
替代舊標準:	GB/T 4061-1983
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	6000 字
翻譯價格(元):	800.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了以三氯氫硅和四氯化硅為原料在還原爐內用氫氣還原出的硅多晶棒的斷面夾層化學腐蝕檢驗方法。
本標準關于斷面夾層的檢驗適用于以三氯氫硅和四氯化硅為原料,以細硅芯為發熱體,在還原爐內用氫氣還原沉積生長出來的硅多晶棒。